부산대학교 공동실험실습관

미래를 향한 힘찬 발걸음

부산대학교 공동실험실습관

미래를 향한 힘찬 발걸음

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모델명 Scios
설치장소 전자현미경실 (210)
설치상태 고정
장비상태 수리/보수 필요
문의처 TEL : 051-510-3077
E-mail : gominjeong@pusan.ac.kr
오퍼레이터 고민정

예약정보

예약가능요일 : 화요일, 수요일, 목요일,

예약최소/최대시간/(예약단위당)예약가능건수 : 1일 / 3일 / 1건

예약가능기간 : 현재일로부터 2주까지

제약사항 : 당일예약불가, 당일취소불가

유의사항

[TEM Sample]은 HR-FIB로 예약해 주시기 바랍니다.

[Milling]
Milling은 1일 예약 후 분석 완료 시 예약 시간을 조정해 드립니다.
Milling 깊이는 **최대 30 ㎛**입니다.
Milling 시간: 10(X) × 10(Z) ㎛ 크기의 시료 기준, 1개당 약 30분 소요
분석 비용 산정 시 참고 바랍니다.
EDS 분석은 지원되지 않습니다.
EDS 분석이 필요한 경우, HR-FIB 장비로 예약해 주시기 바랍니다.

[기타 안내]
신청자와 실제 이용자가 다른 경우, 실제 이용자의 이메일 및 연락처를 특기사항에 기재해 주시기 바랍니다.
분석 중에는 전화 연결이 어려울 수 있으므로, 가능한 경우 이메일로 문의 바랍니다.
담당자: 고민정
E-mail: gominjeong@pusan.ac.kr

결제 관련 문의: 공실관 행정실
Tel. 051-510-1690
* 액체금속이온 소스(Liquid Metal Ion Source, LMIS)로부터 발생하는 이온빔을 고전압의 전계를 가하여 집속하고 편향코일을 조절하여 시료 표면에 주사해서 TEM 시편가공, 증착, 시각 등의 기능을 수행하는 장비로 전자 현미경관찰을 위한 반도체, 세라믹, 박막, 금속/합금 시료 등의 다양한 분야의 시료를 제작하는데 사용하는 장비

* Dual Beam system (Electron column과 Ion column)으로 Sub-Micro/Nano의 미세 영역을 가공 및 분석 가능하며, 가공한 샘플 단면을 SEM image 분석 및 EDS를 활용한 성분분석, TEM 시료 제작 가능
1) Electron beam resolution : 1.0nm at 15kV SE resolution, 1.6nm at 1kV SE resolution or better
2) Electron beam probe current : 1pA to 400nA or better
3) Electron beam accelerating voltage : 20V to 30kV or better
4) Ion beam resolution : 3nm at 30kV or better
5) Ion beam probe current : 0.6pA to 65nA or better
6) Ion beam accelerating voltage : 500V to 30kV or better
7) Eucentric goniometer stage, 5-axes motorized : X,Y ? 110mm, Z ? 65mm motorized or better
8) InColumn Detector
9) Plasma Cleaner
10) Navigation Cam
11) Operationg PC with Windows7 OS & 24“ LCD monitor
12) Automation slice and view software
13) Beam Deceleration
공동실험실습관 이용절차에 준함.

* 분석 중에는 전화 연결이 어려울 수 있습니다. 가급적 메일 부탁드립니다(gominjeong@pusan.ac.kr).

* 분석 외 업무로 인해 신청하신 시간과 다르게 조정될 수 있습니다.

* 분석 시간 안에 모든 분석 과정(분석, 전처리 및 뒷정리)이 완료되어야 합니다.
EDS 분석은 지원되지 않습니다.
EDS 분석이 필요한 경우, HR-FIB 장비로 예약해 주시기 바랍니다.

* Milling : 200,000원/시간
* 시료전처리 Pt coating : 10,000원/회(할인 제외)

※ 수가책정 기준: 교내 60%, 외부 100%
2015년 TEM 도입 당시 함께 구매함.(단독 가격 정보 없음. TEM과 합산 20억원에 구입)