부산대학교 공동실험실습관
미래를 향한 힘찬 발걸음
부산대학교 공동실험실습관
미래를 향한 힘찬 발걸음
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| 모델명 | MST8000C |
| 설치장소 | 물성분석실 (209) |
| 설치상태 | 고정 |
| 장비상태 | 불용처리 |
| 문의처 | TEL : 051-510-3404 E-mail : mjjeen@gmail.com |
| 오퍼레이터 | 불용장비 |
예약정보
예약가능요일 : 월요일, 화요일, 수요일, 목요일, 금요일,
예약가능시간/휴게시간 : 09:30~17:30 / 11:30~01:30
예약최소/최대시간/(예약단위당)예약가능건수 : 1시간 / 5시간 / 5건
예약가능기간 : 현재일로부터 1개월까지
제약사항 : 당일예약불가, 당일취소불가
유의사항
[반도체 검사기 장비의 경우, 사전에 교육을 받은 의뢰자에 한하여 '직접이용'으로 운영됩니다. 담당자와 통화 후 의뢰신청해주시기 바랍니다.]
| 반도체 소자 또는 웨이퍼의 전기적인 특성을 측정/연구하기 위하여 사용되는 탐침장비(Probe Station)입니다. 탐침(probe)을 시험하고자 하는 미세 전극이나 device에 접촉시키고 분석 장비에 연결시켜 device의 전기적 특성 시험을 할 수 있습니다. |
| 1. Probe station main
- Chuck : 8 Inch Low Noise Chuck, On Ceramic Pad - X/Y Stage : Travel 200 x 200 mm, Resolution : 5 um - Theta : Theta Micro control 15 c - Plate : 8 Positioners In Top Available - Microscope : Travel 50 x 50 mm, Fine Manual Fine Knob (X/Y Stage) 2. Microscope & CCD Camera - Stereo : ~90x (max) - CCD Zoom Camera : ~400x, More Than (Object Lens 5x, 10x, 20x, 50x) - High Scope : ~400x, 800x (Object Lens 2x, 5x, 10x, 20x, 50x) - CCD Camera : SD 40M Pixel or Full HD 210M Pixel (user choice) 3. Positioner - Positioner : PB100 - X/Y/Z travel : 15 mm - Resolution : 1 um - Bottom base : Vacuum Base, Vacuum On/off Switch 4. Positioner Holder - Holder : Triaxial C_15 or Coaxial C_14 - Leakage current : Triaxial 1 fA less than(C_15) 5. Probe Tip - M5BG, HR : 0.5 x 30 mm Gold Tungsten or Tungsten - M3BG, HR : 0.3 x 30 mm Gold Tungsten or Tungsten 6. Option - Dark Shield Box : Dimension 900(w) x 780(d) x 1,000(h) or Customize - Vibration Table : Dimension 900(w) x 900(d) x 800(h) - Hot Chuck : Temp 200, 300 Degree c (8“ or Spot Hot Chuck) |
| 반도체 소자 또는 웨이퍼의 전기적인 특성 측정 |
| 1. 담당자와 통화 (051-510-3422)
2. 홈페이지를 통해 이용신청 |
| * 기본료: 20,000원/시간
** <수가 책정 기준> 교내 50%, 외부기관 및 일반사용자 100% ** |