부산대학교 공동실험실습관

미래를 향한 힘찬 발걸음

부산대학교 공동실험실습관

미래를 향한 힘찬 발걸음

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모델명 JSM-7900F
설치장소 전자현미경실 (311)
설치상태 고정
장비상태 양호
문의처 TEL : 051-510-3038
E-mail : jyjeon@pusan.ac.kr
오퍼레이터 전지영

예약정보

예약가능요일 : 월요일, 화요일, 수요일, 금요일,

예약가능시간/휴게시간 : 09:30~15:30 / 11:30~13:30

예약최소/최대시간/(예약단위당)예약가능건수 : 1시간 / 3시간 / 1건

예약가능기간 : 현재일로부터 2주까지

제약사항 : 당일예약불가, 당일취소불가

유의사항

*분석의뢰, 직접사용 가능

*담당자의 육아시간 사용으로 4시 퇴근합니다. 분석관련 문의는 jyjeon@pusan.ac.kr로 연락하시면 됩니다.


운영시간 :
(분석의뢰) 화-목/ 9:30-11:30, 13:30-15:30
(자율사용) 금 09:30-15:30 - 자율사용 예약은 jyjeon@pusan.ac.kr로 문의바랍니다.
9:30-10:30/10:30-11:30/13:30-14:30/14:30-15:30 단위로 예약해주세요.

*분석 전에 시료에 맞는 분석 조건을 잡는데 시간이 걸립니다.
It takes time to set the analysis conditions for your sample before analysis.

*시료 정보(시료의 종류, 시료의 크기, 분석의 종류)및 기타사항을 자세히 기재해주세요.
Please specify the sample information (sample type, sample size, analysis type) and other details.

*분석 결과 받으실 메일 및 연락처를 특기사항에 기재해주세요.
Please write your e-mail and contact details in the special notes.

저전압 전계방사형 주사전자현미경은 전자빔을 시료에 주사하였을 때 시료와 충돌하여 발생하는 2차 전자를 검출하여 시료의 미세한 표면 구조를 관찰하는 기기이며, Shottky 전계방사형 전자총을 사용하므로 열방사형 전자총보다 수백~수천 배 정도의 높은 휘도 및 수 nm의 전자빔을 얻을 수 있으므로 고분해능의 측정이 가능함. 또한, 1kV 이하의 낮은 가속전압에서도 고해상도의 이미지를 얻을 수 있으므로 높은 가속전압 하에서 시료 표면의 손상이 일어나기 쉬운 유기재료(고분자, 생체 재료) 등의 관찰 및 표면의 미세한 구조 관찰에 유용함.
1) Image Resolution :
0.6nm guaranteed at 15kV
0.7nm guaranteed at 1kV
1.0nm guaranteed at 0.5kV
3.0nm guaranteed at 5kV, WD=10mm, Probe current 5nA

2) Magnification :
x25 to x1,000,000

3) Image types : (Detector: LED, UED, R-BED, USD)
Secondary electron image
Backscattered electron image
SE and BSE mixed image (by filtering system)

4) Accelerating Voltage :
0.01 to 30kV(SEM Mode)
By applying the specimen bias voltage, observation can be made from about 10V.

5) Probe current :
1pA to 5 x 100nA

6) Specimen Stage
Type : Fully Eucentric goniometer stage
Movements : X direction : 70mm/Y direction : 50mm/Z direction : 2.0 to 41mm/Tilt : -5˚ to +70˚/Rotation : 360˚ endless (Motor driven)
Specimen exchange : Single touch chucking by load lock method(Airlock)
Specimen exchange chamber : Specimen size : 100mm(dia.)x40mm(h)

7) Energy Dispersive X-ray Spectrometer(Dual EDS, Extreme)
- Unique Single Large Area Analytical LN2 Free Silicon Drift Detector Senser size 100mm2 or larger
- Energy resolution ≤127eV at 20,000cps or better. It should be not change by more than 1eV between 1,000 and 100,000cps. Resolution guaranteed in accordance with ISO15632:2002
- 저가속 전압에서 고분해능 표면분석 및 구조분석과 단면 두께 측정
- 금속, 반도체, 절연체 등 무기물 시료의 표면 구조분석
- 나노박막, 다층박막의 단면관찰 및 두께 측정
- EDS를 이용한 고체시료의 정성, 정량분석
* 분석 예약 - 접수처리 - 분석의뢰 - 결제 및 결과통보
* 분석을 수행할 시료에 대해 자세히 기술 부탁드립니다.
* 분석 시 시료에 대한 참고자료를 지참해주세요.

*분석 가능 시간 : 화-목 9:30-11:30/ 13:30-15:30

[분석의뢰]
SEM: 160,000원/시간
SEM+EDS: 180,000원/시간
SEM+ EXTREME EDS: 200,000원/시간

[자율사용]
SEM: 120,000원/시간
SEM+EDS: 140,000원/시간
SEM+ EXTREME EDS: 160,000원/시간

*Pt or C or Cr coating - 10,000원/회