부산대학교 공동실험실습관

미래를 향한 힘찬 발걸음

부산대학교 공동실험실습관

미래를 향한 힘찬 발걸음

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모델명 NX10
설치장소 초학제융합실험실 (304)
설치상태 고정
장비상태 양호
문의처 TEL : 051-510-3043
E-mail : smleepnu@pusan.ac.kr
오퍼레이터 이승민

예약정보

예약가능요일 : 월요일, 화요일, 수요일, 목요일, 금요일,

예약가능시간/휴게시간 : 09:30~17:30 /

예약최소/최대시간/(예약단위당)예약가능건수 : 1시간 / 8시간 / 8건

예약가능기간 : 현재일로부터 2주까지

제약사항 : 당일예약불가, 당일취소가능

유의사항

* 본 장비는 '초학제 공용실험실' 장비이므로 정기적인 장비 이용 교육을 이수하여 허가증을 교부받은 이용자만 이용이 가능합니다. 장비 교육에 관한 문의는 담당 연구원(내선 3043)로 문의하여 주시기 바랍니다.

* 분석가능시간 - 평일(월~금) 오전09:30-17:30
ex) 09:30~10:30 (1시간), 13:30-15:30 (2시간)

* Cantilever tip 신청 시 비대면 픽업으로 운영되고 있습니다.
초학제실 데시케이터 내 픽업 박스에서 예약자 성함 및 예약 날짜를 확인하신 후 수령해주시기 바랍니다.
Cantilever tip의 보관 박스는 제공되지 않습니다. 반드시 보관할 박스를 지참하시길 바랍니다.
재고가 없을 경우 장비 신청 시 Cantilever tip의 신청이 비활성화 되오니 참고하시기 바랍니다.

* 예약 시각 준수, 예약 시각부터 요금 부과
* 당일예약불가, 최소 1일 전 예약
<예약시간 미 준수시 불이익이 있을 수 있습니다>
원자현미경은 마이크로머시닝(Micromachining)으로 제작된 극히 미세한 탐침을 시료표면 가까이 가져 갔을 때 생기는 원자간의 상호 작용력을 측정함으로써 나노미터크기 이하의 미세한 시료표면의 3차원적 형상을 알아내는 장치로써 일반 대기중에서 시료표면의 전처리 과정 없이, 즉, 도체, 반도체 및 부도체에 상관없이 시료표면의 폭, 높이, 각도, 거칠기 등 3차원적 정보를 얻을 수 있으며, 액체 내에서도 측정이 가능하며 또한 시료의 표면의 전기적, 자기적(磁氣的), 기계적, 물리적 특성 및 물질 상호 반응 현상 등을 측정 할 수 있습니다.
1) AFM 스테이지 / 헤드 / 스캐너
- 최대 샘플 사이즈 : 50mm x 50mm 이상 ( 두께 : 최대 20mm 이상 )
- 최대 샘플 중량 : 454 g 이상
- 샘플 이동거리(XY) : 최대 20mm x 20mm 이상 ( 고정밀 모터 스테이지 )
- 50 um 수평(XY) 스캐너 : Closed-loop Feedback 제어
* 수평(XY) 측정영역 : 최대 50 um x 50 um 이상
* Out-of-plane curvature (스캐너 왜곡율) : 20 nm 미만 (수직방향 / 소프트웨어 보정 없이 40 um 측정 시)
- 수직(Z) 스캐너 :
* 수직(Z) 측정 영역 : 최대 10 um 이상
- 수직(Z) 스테이지 이동 : 10 mm 이상
- 캔틸레버 변형의 검출 방식 : SLD ( Super Luminescent Diode ) 이용
* 파장 : 670 nm 마먼 ( Coherent Length : 50um 미만 )
- 캔틸레버 진동 주파수 : 최대 2MHz 이상

2) 소프트 웨어
- 데이터 분석
* 라인 및 면적의 위치를 사용자가 직접 선택
* 라인 분석 : Height ( Min, Max, Mid, Mean, Range, RMS ), Line Width, Angle, Line profile,
Power Spectrum, Line Histogram
* 면적 분석 : Height(Min, Max, Mid, Mean, Range, RMS), Average Roughness, Grain Size
Analysis, Histogram
금속 나노 구조체, 패턴, 그래핀 필름 분석 연구.
1. Home page를 참고하여 기기작동여부 확인
2. 기기이용절차
- 장비 교육 이수 -> 동의서 제출 -> 허가증 교부 -> 허가증 발급 받은 이용자는 홈페이지에서 이용
신청 -> 접수건 접수 -> 접수된 시간에 장비 이용 -> 결과 통보 -> 행정실에 분석료 납부 및 결과
수령
- 당일예약불가(3일 전 예약)
3. 접수 확인
예약 후, [My page] 에서 처리상태 "접수대기"->"진행중" 꼭 확인하세요!!!!
접수 상태가 되어야 이용가능합니다.
4. 시료의 측정 및 분석
5. 이용료 납부
* 분석료:30,000원/시간 (초학제실내 기기의 수가는 직접이용수가입니다.)
- 수가책정 기준: 교내 60%, 외부기관 및 일반사용자 100%

* Cantilever tip : 100,000원/개
- Cantilever tip 금액은 교내·외 금액 동일함.