부산대학교 공동실험실습관
미래를 향한 힘찬 발걸음
부산대학교 공동실험실습관
미래를 향한 힘찬 발걸음
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| 모델명 | Aquilos 2 |
| 설치장소 | 양산분관(양산캠퍼스) (105) |
| 설치상태 | 고정 |
| 장비상태 | 양호 |
| 문의처 | TEL : E-mail : shson35@pusan.ac.kr |
| 오퍼레이터 | 손선혜 |
예약정보
예약가능요일 : 화요일, 목요일,
예약가능시간/휴게시간 : 10:00~17:00 / 12:00~13:00
예약최소/최대시간/(예약단위당)예약가능건수 : 1시간 / 7시간 / 1건
예약가능기간 : 현재일로부터 1개월까지
제약사항 : 당일예약불가(2일전 예약마감), 당일취소불가
유의사항
*양산캠퍼스 Cryo-EM 분석센터 장비입니다.
- 양산캠퍼스 주차 규정에 따라 방문 차량의 경우 사전 등록이 필요합니다. 차량 출입이 필요한 경우 방문자 성명, 차량번호, 차종, 연락처를 예약 내역에 남겨주시기 바랍니다.
*분석 신청서 작성 전 반드시 담당자에게 먼저 연락해주세요.
( 손선혜 : 051-510-8197 / shson35@pusan.ac.kr )
*당일예약 및 당일취소 불가합니다.
*신청 후 접수번호 발급 여부 확인해주세요.
*SEM+EDS 분석 샘플 크기 : 직경 10 mm 이하
*Cryo-TEM 분석과 연계하여 분석이 필요한 경우, Cryo-TEM 일정과 Cryo-FIB 일정을 상의한 후 의뢰 신청 부탁 드립니다.
*분석 결과 받으실 메일 및 연락처를 따로 기재해주세요.
- 양산캠퍼스 주차 규정에 따라 방문 차량의 경우 사전 등록이 필요합니다. 차량 출입이 필요한 경우 방문자 성명, 차량번호, 차종, 연락처를 예약 내역에 남겨주시기 바랍니다.
*분석 신청서 작성 전 반드시 담당자에게 먼저 연락해주세요.
( 손선혜 : 051-510-8197 / shson35@pusan.ac.kr )
*당일예약 및 당일취소 불가합니다.
*신청 후 접수번호 발급 여부 확인해주세요.
*SEM+EDS 분석 샘플 크기 : 직경 10 mm 이하
*Cryo-TEM 분석과 연계하여 분석이 필요한 경우, Cryo-TEM 일정과 Cryo-FIB 일정을 상의한 후 의뢰 신청 부탁 드립니다.
*분석 결과 받으실 메일 및 연락처를 따로 기재해주세요.
| 초저온 집속이온빔(Cryo-FIB)은 상온 및 극저온(-190 ℃) 상태에서 가속된 gallium 이온을 시료 표면에 주사하여 시료 표면 관찰 및 정밀 가공이 가능한 집속이온빔(FIB) 장비 |
| 1) Electron Gun : Schottly emitter
2) Electron beam resolution : 2.6nm at 2kV, 1.6nm at 30kV (at room temperature), 6.0 nm at 2kV (at cryo-temperature) 3) Electron beam probe current : 1.5pA to 400nA or better 4) Electron beam accelerating voltage : 200 V to 30 kV 5) Ion beam resolution : 7nm at 30kV (with Cryo stage) 6) Ion beam probe current : 1.5pA to 65nA (15 position aperture strip) 7) Ion beam accelerating voltage : 500 V to 30 kV 8) Cryo stage system : X,Y :110 mm, Z : 65 mm motorized 9) Terminal temperature at stage <-180℃ 10) In-lens SE and BSE detector 11) Everhart-Thornley Secondary electron detector 12) EDS Window size : 65㎟ |
| - 재료, 반도체, 세라믹 시료 및 생물 시료 단층촬영 및 정밀가공
- 투과전자현미경(TEM) 관찰을 위한 시료 전처리 - 나노 박막 및 코팅의 단면관찰 및 두께 측정 - EDS를 이용한 고체 시료의 정성, 정량분석 |
| *당일예약 및 당일취소 불가합니다.
*취소 및 변경 전 담당자에게 연락해주세요. ( 손선혜 : 051-510-8197 / shson35@pusan.ac.kr ) |
| *SEM+EDS : 100,000원/시간
*Milling : 200,000원/시간 *Cryo-TEM 시편 제작 시, 1,200,000원/일 |
초저온 집속이온빔(Cryo FIB).pdf
(1MB)