부산대학교 공동실험실습관
미래를 향한 힘찬 발걸음
부산대학교 공동실험실습관
미래를 향한 힘찬 발걸음
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| 모델명 | Hitachi FE-SEM S-4700 |
| 설치장소 | 나노생명분석실(밀양캠퍼스) (104-1) |
| 설치상태 | 고정 |
| 장비상태 | 불용처리 |
| 문의처 | TEL : 051-510-3404 E-mail : mjjeen@gmail.com |
| 오퍼레이터 | 불용장비 |
예약정보
예약가능요일 : 수요일,
예약가능시간/휴게시간 : 09:30~17:30 / 11:30~13:30
예약최소/최대시간/(예약단위당)예약가능건수 : 1시간 / 4시간 / 6건
예약가능기간 : 현재일로부터 1개월까지
제약사항 : 당일예약불가, 당일취소불가
유의사항
[Good Condition]* Aailable time changed (1 March 2022)
EDS 고장 원인인 파우더 시료에 의한 오염을 방지하기 위하여 시료 준비 시 주의!
(시료 준비 시 기기실 시료준비대에 부착된 공지 확인)
- Please check the available time!!
- if you want to cancel, please send e-mail to me (moonko@pusan.ac.kr)
* 당일 간단한 작동 교육 후 직접 사용만 가능.
* unserviceability for magnetic powder!!
* sample size : under dia. 150mm(view area 25mm), height 12mm
* available time (After March)
- From 9:30 to 11:30, From 13:30 to 16:30 on Wednesday
- except Monday, Tuesday, Thursday, Friday
EDS 고장 원인인 파우더 시료에 의한 오염을 방지하기 위하여 시료 준비 시 주의!
(시료 준비 시 기기실 시료준비대에 부착된 공지 확인)
- Please check the available time!!
- if you want to cancel, please send e-mail to me (moonko@pusan.ac.kr)
* 당일 간단한 작동 교육 후 직접 사용만 가능.
* unserviceability for magnetic powder!!
* sample size : under dia. 150mm(view area 25mm), height 12mm
* available time (After March)
- From 9:30 to 11:30, From 13:30 to 16:30 on Wednesday
- except Monday, Tuesday, Thursday, Friday
| [원리] SEM 이란 10-3Pa이상의 진공중에 놓여진 시료표면을 1-100nm정도의 미세한 전자선으로 x-y의 이차원방향으로 주사하여 시료표면에서 발생하는 2차전자, 반사전자, 투과전자, 가시광, 적외선, X선, 내부기전력등의 신호를 검출하여 화면상에 확대화상을 표시하거나 기록하여 시료의 형태, 미세구조의 관찰이나 구성원소의 분포, 정성, 정량등의 분석을 행하는 장치이다.
주로 금속등의 도체, IC, 산화물등의 반도체, 고분자 재료나 세라믹등의 절연물의 고체, 분말, 박막시료가 표본이 된다. 주로 2차전자가 시료의 형태관찰, 반사전자나 X선이 성분분석에 사용된다. 열전자총대신에 Field Emmission(FE) 전자총을 장착한 FE-SEM은 1.5nm이하의 고 분해능으로 고화질의 화상을 얻을 수 있기 때문에 형상관찰에 폭넓게 이용되고 있다 [특징] SEM은 광학현미경과 비교하여 얻을수 있는 화상의 초점심도가 2배이상 깊으며, 동시에2배이상의 높은 분해능(FE-SEM에서는 최대 0.6nm)를 얻을수 있다. 주로 사용되어지는 2차전자상은 광학현미경보다도 고배율(1000x이상)으로서 입체감이 있는 화상이므로 상의 해석을 본 그대로 판단할수 있다. 2차전자검출기와 반사전자 또는 X선 검출기를 장착하여 동시에 여러 종류의 정보를 얻을 수 있다. 또, 특수하게 만들어진 1대 또는 2대의 2차전자 검출기, 혹은 반사전자검출기로 얻은 신호를 PC 처리하여시료의 깊이방항을 포함한 3차원 정보를 얻을수 있다. |
| - Cold Emmission Electron Source
- 다양한 Operation mode로 다양한 시료 관찰이 가능 - Two detector system : 시료에 따라 사용자가 선택하거나 두 image를 섞을 수 있음. - SEM / EDX Integrated system : SEM / EDX Image를 동시에 비교 분석할 수 있음. - 분해능 : 1.5nm ( at 15Kv), 2.1nm ( at 1 kV) - 가속전압 : 0.5 ~ 30 kV - 배율 : 20 ~ × 500,000 - 최대시료크기 : 150mm dia |
| SEM(HITACHI - S4700)에는 EDX가 부착되어 있어 재료 시료의 성분을 정량. 정성 분석할 수 있는 우수한 기종이다. 금속, 광물, 무기물, 세라믹, 시멘트, 유리, 프라스틱, 고무, 석유, 도료, 의생물, 반도체 IC, 집적회로, 전자부품등의 형태관찰, 혹은 품질관리에 2차전자상, 원소분석에 X선화상으로 응용이 가능하다 |
| 1. HOME PAGE나 기기목록집 등을 참고하여 기기의 보유여부 확인 2. HOME PAGE를 통해 신청서(예약) 작성 후 접수 4. 내부결재 후 시료의 측정 및 분석 날짜 확인 5. 시료의 측정 및 분석 6. 이용료 납부 후 결과 통보 7. 기자재 이상유무 확인 |
| FE-SEM 관찰 : 52,000원/시간
FE-SEM 관찰 & EDS 성분분석 : 64,000원/시간 * 장비 이용료에 코팅 비용 포함 * 장비 사용하지 않고 시료 코팅만 이용할 경우 : 5,000원/1분1회 (기관 구분 없이 동일 100% 적용) * 교내 50%, 외부 교육기관 75%, 외부기관 및 일반사용자 100% |
| 2016년 10월 LN2 free type 60mm EDS 설치 |