부산대학교 공동실험실습관
미래를 향한 힘찬 발걸음
부산대학교 공동실험실습관
미래를 향한 힘찬 발걸음
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| 모델명 | SUPRA25 |
| 설치장소 | 전자현미경실 (311) |
| 설치상태 | 고정 |
| 장비상태 | 양호 |
| 문의처 | TEL : 051-510-3038 E-mail : jyjeon@pusan.ac.kr |
| 오퍼레이터 | 전지영 |
예약정보
예약가능요일 : 월요일, 화요일, 수요일, 금요일,
예약가능시간/휴게시간 : 09:30~17:30 / 11:30~13:30
예약최소/최대시간/(예약단위당)예약가능건수 : 1시간 / 2시간 / 1건
예약가능기간 : 현재일로부터 2주까지
제약사항 : 당일예약불가, 당일취소불가
유의사항
* EDS 장비 문제로 성분분석 불가
*직접사용만 가능 (이용자교육은 격주로 진행-"교육 및 세미나" 참고 )
*담당자의 육아시간 사용(16:00-18:00-해당 시간에는 담당자없이 연구조교가 분석을 진행함.)으로 4시 퇴근합니다. 분석관련 문의는 jyjeon@pusan.ac.kr로 연락하시면 됩니다.
운영시간 : 월-금(목요일제외)/9:30-11:30,13:30-17:30(최대분석가능시간: 2시간)
9:30-10:30/10:30-11:30/13:30-14:30/15:30-16:30/16:30-17:30 단위로 예약해주세요.
*전자선묘화공정장치 및 주사전자현미경(SUPRA25)장비 야간 분석 가능!
- 월,화,수,목,금
- 17:30-23:30
- SEM, EDS 자율사용만 가능(능숙한 자만 가능!)
*시료 정보(시료의 종류, 시료의 크기, 분석의 종류)및 기타사항을 자세히 기재해주세요.
Please specify the sample information (sample type, sample size, analysis type) and other details.
* 분석 완료 후 데이터 전송
- 분석이 완료되면 장비실 내의 USB를 이용해 데이터전송용 컴퓨터를 이용해 본인 USB 혹은 본인 이메일로 자료를 전송함.
*직접사용만 가능 (이용자교육은 격주로 진행-"교육 및 세미나" 참고 )
*담당자의 육아시간 사용(16:00-18:00-해당 시간에는 담당자없이 연구조교가 분석을 진행함.)으로 4시 퇴근합니다. 분석관련 문의는 jyjeon@pusan.ac.kr로 연락하시면 됩니다.
운영시간 : 월-금(목요일제외)/9:30-11:30,13:30-17:30(최대분석가능시간: 2시간)
9:30-10:30/10:30-11:30/13:30-14:30/15:30-16:30/16:30-17:30 단위로 예약해주세요.
*전자선묘화공정장치 및 주사전자현미경(SUPRA25)장비 야간 분석 가능!
- 월,화,수,목,금
- 17:30-23:30
- SEM, EDS 자율사용만 가능(능숙한 자만 가능!)
*시료 정보(시료의 종류, 시료의 크기, 분석의 종류)및 기타사항을 자세히 기재해주세요.
Please specify the sample information (sample type, sample size, analysis type) and other details.
* 분석 완료 후 데이터 전송
- 분석이 완료되면 장비실 내의 USB를 이용해 데이터전송용 컴퓨터를 이용해 본인 USB 혹은 본인 이메일로 자료를 전송함.
| 전자빔을 시료에 주사하여 시료로부터 발생한 이차전자 및 X-ray를 검출하여 고분해능의 이미지 및 성분분석이 가능한 장비
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| 1) Spatial resolution
-1.7nm @ 15kV -3.5nm@ 1kV 2) Acceleration Voltage : 0.5kV - 20kV 3) Magnification : 12x- 500,000x 4) Energy Dispersive X-ray Spectrometer (OXFORD) - Window size : 80㎟ - Detectable range : 4Be-98Cf - Resolution : MnKα (<127eV @ 50,000cps) |
| - 유·무기 재료의 표면구조 관찰
- 나노 재료의 표면, 구조분석 및 성분분석 - 박막, 다층박막의 단면관측을 통한 두께 측정 및 구조관찰 - 재료/ 생물 등 시료의 성분 정성 및 정량분석 - SEM-EDS를 이용한 점, 선 분석 및 Mapping |
| 1. 홈페이지를 참고하여 기기작동여부/분석스케쥴 확인
2. 기기이용신청 * 시료 정보 및 개수를 자세히 기입 * 당일 취소 불가 3. 접수 확인 예약 후, [My page] 에서 처리상태 "접수상태"를 꼭 확인하세요!!!! 4. 시료의 측정 및 분석 5. 이용료 납부 (문의전화: 051-510-1690) |
| <장비 이용료>
FE-SEM : 60,000원/시간 *Pt or C or Cr coating - 10,000원/회 |
| 장비 구입 2008-12-01 414,848,550원
컨트롤판넥 구입 2013-07-18 56,153,000원 |
전자선 묘화 공정 장치 및 주사전자 현미경.pdf
(1MB)