부산대학교 공동실험실습관

미래를 향한 힘찬 발걸음

부산대학교 공동실험실습관

미래를 향한 힘찬 발걸음

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모델명 IM-4000
설치장소 전자현미경실 (202)
설치상태 고정
장비상태 양호
문의처 TEL : 051-510-3077
E-mail : gominjeong@pusan.ac.kr
오퍼레이터 고민정

예약정보

예약가능요일 : 월요일, 화요일, 수요일, 목요일, 금요일,

예약가능시간/휴게시간 : 09:30~17:30 /

예약최소/최대시간/(예약단위당)예약가능건수 : 1시간 / 8시간 / 1건

예약가능기간 : 현재일로부터 2주까지

제약사항 : 당일예약불가, 당일취소가능

유의사항

[예약 및 교육 안내]
분석 예약 후 사전 연락 없이 방문하지 않는 경우, 예약 확인이 어려우므로 간단한 취소 메일을 반드시 보내주시기 바랍니다.
본 장비는 홈페이지 직접이용[자율] 교육 메뉴에서 신청서를 제출하고 교육을 이수한 후 예약 가능합니다.
직접이용자 교육: 금요일 오전 9시 30분 (2주에 1회 진행)

[분석 조건]
분석 조건은 이용자가 사전에 준비하여 방문해 주시기 바랍니다.

[Cross Section]
Cross section은 시편을 완전히 절단하는 방식이 아닌, 분석 대상 영역의 단면을 확보하기 위해 일부 영역을 제거하는 방식입니다.
시편 홀더 장착 가능 최대 크기: 20(W) × 12(D) × 7(T) mm
Cross section 가공 가능 영역 최대 크기: 2(W) × 2(D) × 7(T) mm

[Flat Milling]
Flat milling 시 시편 최대 크기: 직경 50 mm × 높이 25 mm
단, Milling 위치가 시편 중심부가 아닌 경우 시편 직경을 25 mm 이하로 준비해 주시기 바랍니다.
전자현미경 관찰을 위한 전처리장비로
재료표면을 Milling 하여 EBSD 분석용 시료를 제작하거나
단면관찰을 위한 Cross section 시료를 제작하는 장비임.
* 주요구성
1. Ion gun unit
2. Stage for cross-section milling
3. Stage for flat milling
4. Pumping

* 성능
1. System : Penning system
2. Accelerating voltage : 0 to 6kV
3. Discharge voltage : 0 to 1.5kV
4. Discharge current : 0 to 560㎂
5. Ion beam diameter : about 500㎛
6. Ar gas flow control : High accuracy Mass flow control
7. Milling rate :
- Cross-section milling : over than 300㎛/hr on Si
- Flat milling : 22㎛/hr(Illumination angle : 60˚) - Spot
2㎛/hr(Illumination angle : 0˚) - Flat
- EBSD용 시편 제작
- SEM 분석용 Cross section 시편 제작
**처음 이용하시는 분은 금요일 오전 9시30분(2주에 한번) 직접이용자 교육 후 이용 가능합니다.

**완성된 샘플을 확인하고자 하는 분은 탁상형 주사전자현미경 예약을 하시길 바랍니다.
확인 용도 이용의 경우(데이터 전달X) 이용료가 부과되지 않습니다.
탁상형 주사전자현미경으로 분석 데이터를 받고자 하시는 분은 교육 신청 후 정식 예약하여 사용하시면 됩니다.

1. Home page를 참고하여 기기작동여부 확인
2. 기기이용신청
* 당일예약불가
* 17시 이후 예약시 익일예약 불가 (월요일 의뢰 시 전주 금요일 17시 이전 예약)
3. 접수 확인
예약 후, [My page] 에서 처리상태 "접수대기"->"진행중" 꼭 확인하세요!!!!
4. 시료의 측정 및 분석
5. 이용료 납부

* 분석가능시간 - 평일(월~금) 09:30-11:30 / 13:30-17:30
매시 30분부터 다음시 30분까지 1시간으로 진행됩니다.
ex) 09:30~10:30 (1시간), 13:30-15:30 (2시간)

* 예약 시각 준수
<이용단가 안내>
*cross section 1개 시료에 2~3시간 소요 됩니다(평균적). 참고 부탁드립니다.

- Flat milling : 24,000원/시간 + 12,000원/개
- Cross section : 24,000원/시간 + 72,000원/개
- 수가책정 기준: 교내 60%, 외부교육기관/외부기관/일반사용자 100%